高速電子回折システム(RHEED)

ARH−100

特 長

超高真空対応可能(差動排気タイプ)へ簡単に差動排気型に変更可能

最大30KV対応でコンパクトなボディを採用し、小型チャンバーに取付にも最適

取付フランジにΦ34ICFを採用

リモコンBoxを使用せず、PCからの制御が可能(平成26年度ものづくり助成事業によって実現)

ARH−100外観図(PDF)

仕 様

構成仕様
電子銃 加速電圧 最高30kV
フィラメント Wヘアピン
レンズ 磁場収束型対物1段
ビーム室 φ0.25mm以下
偏向 XY直行2方向±5°磁場変更
リーク量 <10-10Torr・l/sec以下
耐熱温度 最高150℃(コネクタ80℃)
取付フランジ ICF34
形状 φ40×310mm
制御電源 加速電圧 0〜30kV連続可変
安定度 >0.05%以下
リモート操作 加速電圧、フィラメント電流、
フォーカス、XY偏向
形状 W480×H150×D400mm
入力 AC100V/5A
オプション メタルOリング
対応
サイズ 外形φ35×内径φ28
標準ボディに組込み可能
スクリーン 蛍光剤 標準:P−1、(P−47)
取付けフランジ ICF70、114、152、203対応
差動排気
システム
(1段式/多段式)
使用ポンプ 70L/sポンプターボ分子
使用可能範囲 1段:UHV〜10mTorr
2段:〜500mTorr
画像処理
ユニット
画素数 550×550以上
処理モード 画像取込み(1秒間隔最大3600枚)
振動測定 4点サンプリング、
2点バックグランドサンプリング、
回数最大1000回
マルチスポット
スキャン
対応
要カメラドライバ
PC制御
制御項目 高圧、フィラメント、レンズ、偏向コイル
変更内容 PCにプログラムを追加するのみで対応可