防振型5軸マニピュレーター

ＶＢＭ１５２

特　長

オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。

駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。

SEM等の振動が問題になる装置に御使用ください。

防振型５軸マニピュレータ 外観図（PDF）

準備中

仕　様