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直線導入機

ＶＢＬ３４／７０

特　長

オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。

駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。

高精度かつ軽量・コンパクト設計で、容易に装置の省スペース化を図れます。

ＶＢＬ３４外観図（PDF） ＶＢＬ７０外観図（PDF）

仕　様


形　式 VBL34-** VBL70-**
接続フランジ ICF34 ICF70
許容推進力 12kg 20kg
最小目盛り 0.05mm
寿　命 10,000回
リーク量 2×10-11Pa・m3/sec以下
ベーキング温度 最高200℃
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