磁気結合型回転導入機

VMR

特 長

磁気結合型のため連続運転に適し、ベアリングの交換により、半永久的に使用できます。

導入機の組み合わせにより1軸から3軸までの運動を同軸で導入できます。

VMR34H VMR70H&HW 組合せた状態

仕 様

形 式 VMR34H VMR70H VMR70HW
取付フランジ ICF34 ICF70 ICF70
脱調トルク
(kg・cm)
12 35 70
15°トルク
(kg・cm)
7.5 30 60
リーク量 2×10-11Pa・m3/sec以下
ベーキング温度 最高200℃
※脱調トルクは大気ハンドル部を固定し真空内シャフトを回転させ脱調が生じる直前のトルクです。
※15°トルクとは大気ハンドル部を固定し真空内シャフトを15°ずらした時に生ずるトルクです。