ＸＹＺステージ
| ＶＢ１５２−ＸＹ１２．５−Ｚ５０ |  |
特 長
オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。
駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。
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| VB152-XY12.5-Z50外形図 （仕様は図中参照） |
仕 様
| 形式 | VB152-XY12.5-Z50 | |
|---|---|---|
| 接続フランジ | 移動側：ICF70 固定側：ICF152 | |
| 有効内径 | φ36ｍｍ | |
| 移動量 | ＸＹ：7.5ｍｍ | Ｚ：50ｍｍ |
| 繰返し精度 | ＸＹ：0.01ｍｍ以下 | Ｚ：0.05ｍｍ以下 |
| 目盛 | ＸＹ：0.001ｍｍ | Ｚ：0.02ｍｍ |
| 寿 命 | 10,000回 | |
| リーク量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 | |
| ベーキング温度 | 最高200℃ | |
| 予備ポート | ＣＦ34×4 | |