高精度ＸＹステージ
| ＶＢ−ＸＹ |  |
特 長
オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。
駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。
また、ハンドル部も独自の製品がありますのでオーブン式による、全体ベーキング(約150℃）にも対応可能です。
別途お問い合わせください。
外形図
| CF70 |  | |
| ＶＢ７０−ＸＹ７．５ | ||
| CF114 |  |
 |
| ＶＢ１１４−ＸＹ７．５ | ＶＢ１１４−ＸＹ１２．５ | |
| CF152 |  | |
| ＶＢ１５２−ＸＹ１２．５ | ||
| CF203 |  | |
| ＶＢ２０３−ＸＹ１２．５ |
仕 様
| 形式 | VB70-XY7.5 | VB114-X7.5 | VB114-XY12.5 | VB152-XY12.5 | VB203-XY12.5 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 接続フランジ | ICF70 | ICF114 | ICF114 | ICF152 | ICF203 | ||
| 移動量(mm) | 7.5 | 12.5 | |||||
| 寿 命 | 10000回 | ||||||
| リーク量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 | ||||||
| ベーキング温度 | 最高200℃ | ||||||