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簡易XYステージ
VB−AXY
特 長
目盛付のハンドルを使用している為、導入機や搬送系の軸合せの調整が容易に行えます。
オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。
駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。
VB70−AXY5
VB114−AXY7.5
仕 様
形式
VB 70-AXY5
VB114-AXY7.5
取付フランジ
ICF70
ICF114
繰り返し精度
0.1mm
寿 命
100回
リーク量
2×10
-11
Pa・m
3
/sec以下
ベーキング温度
最高200℃
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