簡易XYステージ

VB−AXY

特 長

目盛付のハンドルを使用している為、導入機や搬送系の軸合せの調整が容易に行えます。

オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。

駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。

VB70−AXY5 VB114−AXY7.5

仕 様

形式 VB 70-AXY5   VB114-AXY7.5
取付フランジ ICF70 ICF114
繰り返し精度 0.1mm
寿 命 100回
リーク量 2×10-11Pa・m3/sec以下
ベーキング温度 最高200℃