磁気移送機構トランスファーロッド
| ＶＭＲＬ |  |
特 長
オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。
駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。
オリジナル肉厚パイプにより、ロングストローク、自動化にスムーズに対応。
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| ＶＭＲＬ３４ | ＶＭＲＬ７０ |
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| ＶＭＲＬ１１４ |
仕 様
| 形 式 | VMRL34-** | VMRL70-** | VMRL114-** |
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| 搬送方式 | 磁気結合方式 | ||
| 取付フランジ | ICF34 | ICF70 | ICF114 |
| 推奨ストローク ｍｍ以下※1 | 400 | 700 | 1000 |
| 直進力(保持力） | ２ｋｇｆ | ７ｋｇｆ | |
| トルク | １．２Ｋｇ･ｃｍ | ８.０ｋｇ･ｃｍ | |
| リーク量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 | ||
| ベーキング温度 | 最高200℃ | ||