ビューポート付アクセスドア

VD○○○

特 長

お使いのコンフラットフランジ(メタルシール)をOリングシールのフランジに変換し、真空チャンバへのアクセスが容易になります。 又、フランジにパイレックスガラスを装備していますので、ビューイングポートとして使用できます。 Oリングシール構造ですので、許容加熱温度120℃以下となります。

ビューポート付アクセスドア
(PDF)

仕 様

形 式 VD070 VD114 VD152 VD203
取付フランジ ICF70 ICF114 ICF152 ICF203
開口部 内径 φ30 φ62 φ96 φ145
ビューポート
開口部 内径
φ27 φ47 φ65 φ115