ビューポート付アクセスドア
VD○○○ |
特 長
お使いのコンフラットフランジ(メタルシール)をOリングシールのフランジに変換し、真空チャンバへのアクセスが容易になります。 又、フランジにパイレックスガラスを装備していますので、ビューイングポートとして使用できます。 Oリングシール構造ですので、許容加熱温度120℃以下となります。
ビューポート付アクセスドア (PDF) |
仕 様
形 式 | VD070 | VD114 | VD152 | VD203 |
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取付フランジ | ICF70 | ICF114 | ICF152 | ICF203 |
開口部 内径 | φ30 | φ62 | φ96 | φ145 |
ビューポート 開口部 内径 |
φ27 | φ47 | φ65 | φ115 |