私たちができること(業務について)
弊社オリジナルのクリスタルゲージ、スパッタガンや大面積シリーズをはじめとする薄膜作成装置などの真空コンポーネント、 マグネット回転導入機などメカニカルコンポーネント等など自社製品の紹介していますが、オーダメイドので対応も多いので、その一部を紹介したいと思います。
PLD装置のターゲット機構
弊社のPLDは、複数のターゲットをチャンバ内に収納し、各種薄膜材料(ターゲット材料)を使い分けることが可能ですが、 その収納スペースを確保する為、真空内の機構部(ヘッ ド部)が大きくなりがちです。しかしながら、PLDの成膜にアシスト的に必要な機構(オゾン発生装置など)を 多く追加することも多く、ターゲット機構のヘッド部は、この様に小さくなりました。
VCR継手の回転導入機
装置を小型にした為に、ビューイングポートシャッタの回転導入機が、標準サイズのCF34のものでは大きいので、製作しました。
アングル型トランスファーロッド
小型化された装置を搬送するのに従来の磁気移送機構を複数付けることや、ラックピニオン型の真空内の腕が長いものより、 構造がシンプルで省スペースにると考えて、ハンドルを上下するとアームが横に伸びるアングル型トランスファーロッドを作りました。
少しの実例で申し訳ないのですが、諦めていた実験や、やり難い実験も、少し小型化するだけで変わるかも知れません。