真空コンポーネント
- 電気的なコントローラを持ち、真空装置のひとつの構成要素として成立つコンポーネントです
- 電気的なコントローラを持ち、真空装置のひとつの構成要素として成立つコンポーネントです
低真空領域で優れた精度を誇るクリスタルゲージ、長年製作してきたPLD装置から生まれた超小型のRHEEDなど、薄膜作成に欠かせない弊社オリジナルなコンポーネントも多く取り揃えています
真空計
- 圧力に対して、クリスタルの振るえ方が変化する性質を使った真空計です
- 圧力に対して、クリスタルの振るえ方が変化する性質を使った真空計です
低真空領域で高精度な有りながら大気圧以上の圧力も測定可能な、弊社オリジナルクリスタルゲージのラインナップです。
RHEED
- ブラウン管TVと同じ様な構成で、電子線ビームを照射し、照射面の構造をスクリーン(蛍光体)に映し出します。カラーTVは3本ビームですが、RHEEDは高電圧で加速されたビームが1本です
- ブラウン管TVと同じ様な構成で、電子線ビームを照射し、照射面の構造をスクリーン(蛍光体)に映し出します。カラーTVは3本ビームですが、RHEEDは高電圧で加速されたビームが1本です
取付フランジがCF34を採用した小型RHEEDを旗艦にした高速電子線回折システムのラインナップです。
スパッタガン
- PVD(物理的気相法)のひとつであるスパッタリング機能を小型のフランジに搭載し、簡易的な電極作成から本格的な製膜まで行えるマグネトロンスパッタカソードです
- PVD(物理的気相法)のひとつであるスパッタリング機能を小型のフランジに搭載し、簡易的な電極作成から本格的な製膜まで行えるマグネトロンスパッタカソードです
ターゲットサイズφ3”、φ2”の他にφ1”を加えたラインナップで取付、多元搭載数により余裕ができ、幅広くお答えできる様になりました。
オゾン
オゾン純度を90%以上を誇る高純度オゾン発生装置で、取付フランジが、CF114と小さく直接、チャンバに搭載することが可能です。